真空泵真空设备检漏维修
深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,真空箱检漏仪,在北京、浙江设有售后办事处。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,真空箱检漏设备报价,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空标准件以及真空设备的维护保养。
1.2、真空检漏的分类
真空检漏可以分为两大类。一,充压检漏法;二:真空检漏法。
①充压检漏法:指在被检件内部充入一定压力的示漏物质,如果被检件上有漏孔,示漏物质从漏孔漏出,用一定的方法或仪器在被检件外部检测出漏孔漏出的示漏物质的方法。主要有升压法、听音法、气泡法等。
②真空检漏法:指将管道和检漏器的敏感元件处于真空状态,在管道的外部施加示漏物质,如果有漏孔,真空箱检漏设备价格,示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元素空间,由敏感元件检测出示漏物质的方法。主要有真空计法、静态升压法、氦质谱检漏仪法。
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真空设备氦检漏
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氦质谱检漏仪基本原理简介
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度gao,用得普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9~10-12Pam3/s,广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声***减小.其灵敏度可达10-14~10-15Pam3/s,适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12Pam3/s。
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工作条件:
①检漏仪要工作必须使检漏仪内部真空系统正常工作,因此检漏仪机械泵8、分子泵1 和电磁阀V1 串联工作,达到质谱室所需要的高真空,满足离子源可靠工作时即达到检漏仪工作条件,即我们所说的自检通过。
②满足检漏口14 达到1000 Pa 以下,由于真空自耗电弧炉容积约2~3m3,因此无法使用检漏仪自身的真空泵进行炉室抽空,必须使用电弧炉的真空系统作为检漏仪的辅助系统对其抽空,真空箱检漏,从而满足检漏口1000 Pa 以下的使用要求。
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