检漏仪的保养注意事项
1.如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间
2.拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。
3.适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。
4.检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）
5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中，氦检设备生产厂家，由于氦检漏仪为精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。
6.使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源，并排除故障。
氦质谱检漏仪
待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa，灯丝不易被氧化脆断。在检漏过程中，当出现意外情况，系统突然暴露大气或真空度突然降低，导致大量的气体突然进入电离室，真空度≥1x10-1Pa时，灯丝电流急剧增大，灯丝被碳化，就发生了脆断现象。
氦质谱检漏仪灯丝寿命如何延长？有前面分析已知，造成氦质谱检漏仪灯丝脆断的原因：1.真空度低；2.灯丝电流过大；3.对灯丝有害的气体气压太高（氧化性气体、水蒸气、氢气）。那么，在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启，或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长氦质谱检漏仪的灯丝寿命。如：1.使用中尽量将预置真空开关空挡；2.避免电离室泄入有害气体（氧化性气体、水蒸气、氢气）。
氦检漏设备的工艺流程
A1:安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测;
B1:若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止;
B2:若A1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测;
C1:若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止;
C2:若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。
